氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，对被检件的氦泄漏量进行测量。当被检件密封面有漏孔时，表明漏气的氦气和其他气体会从漏孔中排出。泄漏的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，只给出气体中的氦分压信号值。在获得氦信号值的基础上，可以通过标准漏孔对比的方法获得漏孔对氦的泄漏量。根据泄漏检测过程中指示的泄漏气体储存位置与被检件的不同关系，可将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理。优缺点和检测标准。

1.真空质谱检漏。

当使用真空法检测泄漏时，需要使用辅助真空泵或泄漏检测器对被检测产品的内部密封室进行真空，并使用氦盖或喷雾法在被检测产品的外表面施加氦。当被检测产品表面有泄漏孔时，氦将通过泄漏孔进入被检测产品，然后进入氦质谱检漏仪，从而实现被检测产品的泄漏测量。根据不同的漏气方法，真空法可分为真空喷射法和真空氦盖法。

真空喷射法：用喷枪将氦气喷射到被检产品外表面，可实现漏孔的精确定位；

真空氦罩法:用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有被检产品，充满一定浓度的氦，可测量被检产品的总泄漏率。

真空法的优缺点。

真空法的优点是检测灵敏度高，能准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大match气压差的泄漏率检测，不能准确反映被产品的真实泄漏状态。

真空法主要用于真空密封性能要求，但不带压力的产品，如空间活动部件、液氢罐车、环境模拟设备等。

2.正压法氦质谱检漏。

当采用正压法检测泄漏时，被检查产品的内部密封室应充满高于大气压的氦。当被检查产品表面有漏孔时，氦将通过漏孔进入被检查产品表面周围的大气环境，然后通过吸枪检测被检查产品周围大气环境中的氦浓度增加，从而实现被检查产品的泄漏测量。根据收集氦的不同方法，正压法可分为正压吸枪法和正压累积法。正压吸枪法：用检漏仪吸枪扫描探测被检查产品外表面，实现漏孔的准确定位；

正压积累方法：使用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有检测产品，使用泄漏检测器测量一定时间段前后氦罩内氦浓度的变化，实现检测产品总泄漏率的准确测量。

正压法的优缺点。

正压法的优点是真空系统不需要辅助，可以准确定位，在任何工作压力下实现检测。

正压法的缺点是检测灵敏度低，检测结果不确定，受测量环境条件影响较大。

正压法主要用于高压氦气瓶、舱门检漏仪等大容积高压封闭容器产品的检漏。

3.氦质谱检漏真空压力法。

真空压力法泄漏检测时，需要将被检产品整体放入真空密封室。真空密封室与辅助排气系统和检漏仪连接。被检测产品的充气接口通过连接管导出真空密封室，然后与氦源连接。当被检测产品表面有漏孔时，氦气通过漏孔进入真空密封室，然后进入氦质谱检漏仪，从而测量被检测产品的总泄漏率。

真空压力法的优缺点。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，可以实现任何工作压力的泄漏率检测，反映被检测到的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是泄漏检测系统复杂，真空密封室需要根据被检测产品的体积和形状进行设计。需要说明的是，在泄漏检测过程中，需要确保充气管接口无泄漏，或采用特殊的结构设计将所有充气管接口放置在真空密封室外。

真空压力法主要用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管、推进剂储罐、天线、应答机、全星产品等。

4.氦质谱检漏背压法。

采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。

背压法的优缺点。

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。

背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。

背压法主要用于检漏各种电子元器件。