氦质谱检漏仪应用广泛，根据不同产品的密封要求，采用负压法、正压法和压氦法。

1.负压法检漏。

负压法泄漏检测是将检测部件连接到泄漏检测器的检测端口，用喷枪连续向可疑泄漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过泄漏孔进入泄漏检测器并进行检测。一般电子设备外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等应采用这种方法进行泄漏检测。

根据不同的产品，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。例如，例如管壳的泄漏检测。泄漏检测器正常工作后，用标准泄漏孔校准泄漏率，可对管壳进行喷射检漏。首先将夹具固定在泄漏检测端口，待测管壳放置在夹具上方的橡胶板上，辅助抽气系统将其泵入预定真空，然后自动连接到仪器的测量系统。然后用喷枪连续向管壳喷射氦气，通常需要1~3秒。当管壳存在泄漏时，氦气将通过泄漏孔进入仪器的质谱分析部分，泄漏大小直接显示在泄漏率表上。该方法不仅可以判断泄漏孔的位置，还可以测量泄漏孔的大小。整个测试周期只需一分钟。

2.正压法检漏。

正压法的泄漏检测与负压法的泄漏检测相反。吸枪连接到泄漏检测器的检测端口，检测装置充满规定压力的示踪气体，泄漏孔泄漏的氦气被吸入检漏仪进行检测。大型容器或内部排气管容器进行负压泄漏检测非常不经济，泄漏检测速度较慢，一般采用正压泄漏检测。

这种正压泄漏检测方法应注意：首先，必须校准仪器的吸枪灵敏度，然后向容器中填充比大气压高的氦；第二，有些容器是薄板结构。建议在容器外制作夹具，以防止高压变形和损坏设备；第三支吸枪沿焊缝移动时，速度不宜过快，离开表面约1mm，以保证吸入灵敏度，最好将探头制成喇叭口形。

3压氦法检漏。

压氦法检漏是将有一定压力的示踪气体的检测件放入检漏夹具中，然后连接到检漏仪进行排空。示踪气体通过漏孔泄漏，检漏仪检测总泄漏量。

一般来说，小型电子设备应采用这种泄漏检测方法。首先调整仪器，然后将设备放入加压罐中，压入氦气。氦气进入有漏洞的设备，没有漏洞的设备只吸收表面的氦气。设备的压力和时间取决于GB2423，2328文件。从加压罐中取出后，从表面吸收的氦气被吹出，然后放入检漏夹具中抽空。真空泵送到设定值后，夹具将自动连接到仪器的测量系统。此时，检测泄漏装置中的氦气泄漏，泄漏率显示在泄漏率表上。

压氦法检漏一般采用排除法。在夹具中放置一定数量的装置。本批总泄漏率不超过报废预定值，说明本批合格；如果总泄漏率超过报废预定值，可以取出一半，其余一半将继续检查泄漏。如果这一半是合格的，则表明泄漏装置在取出装置的一半中，以检查泄漏，直到检测到有泄漏的装置。