氦质谱检漏仪是一种用于气体工业名词术语的表示，并使用气体分析仪检测氦进行泄漏检测。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过漏孔扩散；此外，氦是一种惰性气体，不会腐蚀设备，因此氦通常用作泄漏气体的表示。将气体喷洒在与气体分析仪连接的检测容器上（调整到仅对氦反应的工作状态）。如果容器有漏孔，分析仪会做出反应，从而知道漏孔的位置和漏气量。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可或缺的技术。由于泄漏检测效率高、操作简单、反应灵敏、精度高，不易受到其他气体的干扰，广泛应用于电阻炉泄漏检测中。

氦质谱检漏仪的特点：

1.便携式设计。

2.设备外形美观小巧。

3.采用液晶触摸屏设计。

4.有通信接口。

5.可以方便地输出检漏数据。

氦质谱检漏仪的工作原理：

氦质谱检漏仪是一种基于质谱学原理的气密性检测仪器。它由质谱室、抽气系统和电气部件组成，由离子源、分析器、收集器和冷阴极电离规组成。质谱室灯丝发射的电子在房间内来回振荡，与室内气体和通过漏孔进入房间的氦气相互碰撞，使其电离成正离子。这些氦离子在加速电场的作用下进入人体磁场。由于洛伦兹力的作用，它们偏转并形成一个圆弧轨道。改变加速电压可以通过磁场和接收接头将不同质量的离子检测到接收极。