分子泵过流保护分为加速中过流保护与恒速运行中过流保护两种情况，应分别诊断：
（1）加速中过流保护

可能情况：系统漏气、真空度较差

检测方法及建议:
1）观察分子泵前级真空度是否优于10Pa；

2）用检漏仪对系统进行整机检漏，确保系统无漏；

3）确保系统漏率在允许范围内且前级优于10Pa后重启分子泵。

（2）恒速运行中过流保护

可能情况：分子泵运行中负载突变

检测方式及建议：
1）观察系统真空度变化过程；

2）若出现较明显变化（如10-4Pa降至10-1Pa），则会出现过流保护情况.

华尔升氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵进气口一端，漏

入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有

不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，华尔升智控型氦质谱检漏仪HESZKAT800可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合

检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。