如何校准氦质谱检漏仪的漏率？氦质谱检漏仪内部一般有标准漏孔，可以拆卸校准。如果标准漏孔不能单独校准，可以通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。接下来给大家分享遇到这种情况该怎么办？

1.环境条件校准

在校准过程中，室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不超过80%；不会受到气流和强电磁场等外部干扰；环境温度最好控制在23℃附近。

2.选择标准器

标准装置采用渗氢型标准漏孔，漏率标称值为(10-6-10-10-10)pa.m3/s，不确定度不大于10%；精密玻璃温度计，测量范围(0~50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。

3.校准方法

(1)漏率校准。

①校准系统的组成由标准漏孔、截止阀和标准的氦质谱检漏仪组成。

②数值误差通电并预热。等待氦质谱检漏仪启动后，利用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准。一旦校准的标准漏孔连接到氦质谱检漏仪系统，并运行氦质谱检漏仪。泄漏率指示值稳定后，可读出标准泄漏率的氦质谱检漏仪示值，并对同一标准漏孔进行三次测量，计算氦质谱检漏仪示值的平均值

假如试验结果有较大偏差，可以考虑氦质谱检漏仪的自校功能，完成后再用标准漏孔进行试验。

以上就是关于氦质谱检漏仪漏率如何校准的回答，希望对大家有所帮助~