常用标准漏孔的两种校准方法

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标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为296±3K、入口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的干燥空气（其漏点温度低于248K）的漏率。

   标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。

（1）定容升压法

   定容升压法校准系统示意图如下图所示。

经预抽并烘烤容积V后，标准漏孔进气端压力p1＜1.33×103Pa，而V达到极限真空。当压力为1.01×105Pa的校准气体（例如N2气）经标准漏孔流进容积V，并在V中压力p2稳定后，关闭阀门S2记录时间和环境温度T，测出对应Δt时间的升压Δp2则标准漏孔的漏率为式（10）。

（2）氦质谱检漏仪的比较法

氦质谱检漏仪比较法校准系统如下图所示

在检漏仪工作条件不变的前提下，先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号，则待校标准漏孔的漏率为式（11）。qL，01-已知标准漏孔L1的漏率；p1，p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压；I1，I2-分别为L1，L2漏孔的输出讯号；I0-检漏仪本底。

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