一、氦质谱检漏仪的基本结构

氦质谱检漏仪主要由检漏系统、控制系统和显示系统三个部分组成。检漏系统包括氦质谱仪、检漏管、样品分析管和漏检管，控制系统由控制器、控制程序和传感器等组成，显示系统由显示屏、显示板和显示程序等组成。

二、氦质谱检漏仪的检漏流程

（1）安装检漏管：将检漏管与检漏仪的联接口连接起来，检漏管内填充氦气，并使其压力稳定。

（2）设置检漏参数：根据漏洞的大小设置检漏参数，调整测量时间，以及氦气的压力和流量。

（3）检漏测量：在设置好的参数下，按照检漏仪的操作要求，启动检漏测量过程，并在控制台上显示出漏洞检测结果。

（4）结果分析：如果检测到漏洞，则可以根据检漏仪显示的检漏结果，对漏洞进行准确定位，并根据实际情况进行维修。