关于氦质谱检漏仪的应用大家都有所了解，那么关于他的发展史小编觉得还是有许多朋友是不了解的，今天就让小编跟大家科普一下吧。

从20世纪60年代开始，氦质谱检漏仪被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏仪得到了飞速的发展。

1956年，Schumacher开始研究背压检漏，并将它应用到密闭电子器件的检漏中去。1973年。Howl先生对背压检漏方法进行了详尽的数学分析，他推导的漏率计算公式就是现在使用的背压检漏用的经典公式。

在国内，从20世纪60年代末开始，兰州物理所开展了大容器检漏方法研究，将拟质谱检漏技术应用于卫星环模设备、铁路运输液氢槽车、运载火箭氢氧液体燃料箱等大型容器的检漏中。1996年，北京卫星制造厂闰治平等人采用氦质谱的非真空收集法对卫星整体进行检漏。近年来，曹辉玲等人将前级泵出口采样法应用于电力工业及其他大型真空设备的检漏中，采用特制的油污过滤装置对氦具有和积累作用，提高了检漏灵敏度。现在，氦质谱检漏仪己成为迄今Z灵敏、Z有效、Z方便也是应用Z广的检漏手段。

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