氦质谱检漏仪的应用使我国许多设备的运行得到了更好的监控，尤其是在一些真空设备的质量检测中，应用氦质谱检漏仪已经成为一个普遍的事情。氦质谱检漏仪本身的能力和使用情况直接影响了设备的检测极ng准度，因此选用合适的氦质谱检漏仪非常重要。今天，小编给大家分享关于氦质谱检漏仪的发展历程。

自20世纪60年代以来，氦质谱检查仪在航空航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车、食品等行业得到了广泛的应用。特别是原子能和航空航天技术的发展，使得氦质谱检漏仪得到了迅速的发展。从早期的喷射方法开始，到现在有氦罩方法、吸枪方法、真空室方法、泄漏盒方法、真空室积累方法、吸枪积累方法、背压方法、前泵出口采样方法等氦质谱检漏方法。

1956年，Schumacher开始研究背压检漏，并将其应用于密闭电子器件的检漏中。1973年，Howl先生对背压检漏方法进行了详细的数学分析，他推导出的漏率计算公式是目前背压检漏的经典公式。

在中国，从20世纪60年代末开始，兰州物理研究所对大容器检漏方法进行了研究，将质谱检测技术应用于卫星环模具设备、铁路运输液氢槽车、运输火箭氢氧液体燃料箱等大型容器的检漏中。1996年，北京卫星工厂用氦质谱的非真空收集方法对卫星进行了检漏。近年来，曹辉玲等人在电力行业和其他大型真空设备的检漏中采用了先进的泵出口采样方法，采用一种特殊的油过滤装置，对氦具有和积累的作用，提高了泄漏检测的敏感性。现在，氦质谱检测仪已经成为迄今为止最敏感，最有效，最方便也是应用最广的检漏手段。

那么以上就是关于氦质谱检漏仪的发展历程的介绍，希望能让大家对氦质谱检漏仪能有进一步认识。

道华