氦质谱检漏的方法有很多，根据被检工件的测量目的可以分为两种类型，一种是漏点类型，另一种是漏率类型；在实际检查过程中，应根据检查目的选择最合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活采用各种检漏方法。

1、测定漏点型氦质谱检漏方法

确定漏点类型不仅是确定要检查的零件的具体漏点或漏孔位置，而且在卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、油箱、锅炉等大零件或大零件中更为常见。

1.1、喷氦法氦质谱检漏方法

喷氦法又叫喷吹法，最常用、最方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷氦。

如果被检器件某处有漏孔，当氦喷到漏孔上时，氦气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意：氦气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置)，这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入，就很难确定漏孔的位置；再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。

在检测大部件时，借助机械泵进行真空预抽，可以提高泄漏检测效率和时间。当检查结构复杂、密封口和焊缝较多、挤压在一起的小容器时，由于氦喷出后会迅速扩散，往往不容易准确确定泄漏部位，应从不同角度喷氦，仔细观察反应时间的差异，用真空密封暂时密封发现的泄漏，逐一检测泄漏。

氦质谱检漏仪喷氦法检测优点：

1．检测灵敏度高，可精确定位；

2．能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

氦质谱检漏仪喷氦法检测缺点：

1．只能实现一个大气压差的漏率检测；

2．不能准确反映带压被检件的真实泄漏状态。

氦质谱检漏仪喷氨法检漏流程:

1.将工件组装好后，再使用相应的工装，将工件连接到检漏仪上；

2.待确认连接OK后，按下检漏仪“开始”按键，检漏仪进入抽空检漏状态；

3.观察检漏仪显示屏上的显示的本底值达到4.0×10-10Pa.m3/s.；

4.使用99.99%或999%的氨气，对工件可疑漏点，进行喷氨检测；

5.每个可疑漏点，喷氨1秒，观察检漏仪本底值3-5秒。观察检漏仪本底值有没有增加或检漏仪是否有报警输出；

6.按照步骤5依次检测其它可疑漏点；

7.喷氨气检测顺序是从上而下，先确认大漏点，8.检测结束后，先按下检漏仪“停止按键，待检漏仪显示屏出现待机画面后，再拆卸工件。

1.2、吸氦法氦质谱检漏方法

吸氦法（吸枪法）主要用于检查某些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等，先将容器抽真空，再给容器充入氦气(为了节省用氦量，可以用低浓度氦气)。

将专用吸枪联接在氦质谱检漏仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

2、测定漏率型氦质谱检漏方法

泄漏率类型主要用于检测密封要求严格的部件，如宇宙飞船、火箭液体燃料储罐、卫星、电子元件等。该方法只能测试试验部件的泄漏率，不能确定泄漏孔的位置和泄漏孔的数量。