泄漏率，顾名思义，在一定压差的前提条件下，介质在单位时间内通过泄露部位的标准状况气体量。对于质谱氦泄漏检测方法，根据氦的特殊性质，泄漏检测介质为氦，检测方法为质谱仪。常用的方法有吸枪法和真空法，或内外检测法。绝对没有泄漏系统。质谱氦泄漏检测是基于一定压差下氦作为泄漏检测介质的检测结果。因此，相同的泄漏率根据不同的压差条件和不同的介质条件而有所不同。基本原理基于磁场作用下按照离子的质荷比(m/z)不同,来分离不同分子量的分子、测定分子量进行成分和结构分析：电场对带电粒子的加速与偏转。

为什么用氦气做为示宗气体?

氦的特性:

分子量小,活跃；

空气中的含量小:5PPM；

氦为惰性气体,无毒无害；

对于吸枪法，基于大气中的氦含量，通常通过调节针阀把背景值调节到-6级别后用来定性测漏；对于真空法，可以得到定量的测漏。

检漏仪三大模块:

1. 真空系统

前级泵+分子泵组合成真空系统,以获得高真空；

2. 检测系统

阀门,内置漏孔,氦质谱室；

3.电路系统

主板,电源板,分子泵驱动板,通信板组成的电信号控制系统。

基本方法比较：注：空气中大概5ppm氦气组分

使用注意事项：

检漏仪建议每月进行校准检查；

氦检仪在工作的时候必须放在水平的地面上，并且不得移动位置；

“TEST”状态下不能打开上部检测口，只有在“VENT”状态下才能打开；

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准。

氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

下节，小编为您详细介绍四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准，一起期待吧~