如今，越来越多的大型涡轮分子泵或低温泵被用来代替油扩散泵系统，以防止油蒸气污染。因此，近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显著的改进和发展。

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快, 有机蒸汽污染少和极限真空高等特点. 因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统, 即使检漏仪不用液氮冷阱, 质谱室也不致严重沾污, 并能保持较低的本底或杂声. 这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高, 并且延长离子源的使用寿命。

氦质谱检漏仪质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。

氦质谱检漏仪中没有手动阀，现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵，以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪，并实时监控检漏仪显示漏率。

无论是用于研发的灵活可靠的系统，还是用于常规工业真空加工的热处理系统，或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案，都可提供相应的解决方案。

我司可以提供相应的解决方案，无论是灵活可靠的研发系统，传统的工业真空加工热处理系统，还是适合实时检测车间泄漏的便携式解决方案，好了，以上就是有关氦质谱检漏仪中分子泵与油泵的区别介绍，大家学会了吗？