氦质谱检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便。它可以自动量程切换、自动调零、自动校准和自动范围切换双灯丝。氦质谱检漏仪可具有内腔微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏，氦质谱检漏仪采用氦质量小、重量轻、渗透性强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.不会受到主观因素判断的影响；

4.检测的数据精准；

5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。

氦质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪可以为不同的应用提供广泛的测试方法，包括涡轮分子泵、内置机械泵、外部机械泵、光谱、仪器管、阀组、泄漏仪电子元件和操作页面，以及可选的功能元件。氦质谱检漏仪广泛应用于宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等航空航天领域。

那么上述就是有关氦质谱检漏仪的关键部件介绍，希望对您有益~