保持检漏仪的稳定性和长期正常运行是提高检漏仪工作效率的基础，首先它的预防性保养非常重要：众所周知，检漏仪内部的真空泵、阀门等活动部件在工作时会有磨损，这些部件需要定期的保养维护。检漏仪工作时还会吸入粉尘、可凝性气体等污染物，特别是挥发性有机物。这些污染物会进到检漏仪内部并不断累积，影响多个核心部件的正常工作。上医治未病，对这些部件的预防性保养将最大程度的降低您的设备突然停机的风险，并节省维修成本。
阀体
阀体内部结构精密，通道复杂。检漏仪吸入的粉尘等污染物会堆积在阀体通道内，并产生诸如阀门密封不严/漏气、本底漏率读数较高或不稳定等故障。
离子源
附着在离子源腔体内表面和灯丝上的污染物容易被电离产生黑色积碳，造成离子源寿命下降，检漏仪灵敏度下降、漏率读数不准确/不稳定、校准出现 “增益过高” 的报警等故障。
前级泵
前级泵在工作过程中吸入来自工件的污染物和空气中的水汽。如疏于保养，将导致泵油变质、乳化，泵腔内部磨损或生锈，前级泵运转噪音变大、油封漏油，还会影响到极限真空从而影响检漏精度，甚至因为前级泵的极限真空无法达到分子泵启动的压力，检漏仪启动后将一直处于“压力等待”状态。
涡轮分子泵
检漏过程中吸入的污染物，如果在阀体内部积存过多，可能会被带入分子泵内部。粉尘和挥发性有机物会造成轴承润滑不良，寿命降低，并造成分子泵功率过高甚至检漏仪报警停机。
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