真空泄漏检测是检测真空系统泄漏部位及其尺寸的过程，泄漏又称真实泄漏，是气体从高压侧流向低压侧的现象。

虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。

气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。

最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。

最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。

检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。

反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。

消除时间，即从泄漏检测方法停止（如停止喷射，开始提取泄漏气体）到指示方法消失的时间。

泄漏率，即单位时间内通过泄漏孔（包括间隙）的气体量。