涡轮分子泵家族拥有从抽速10・2700升/秒的全系列产品。它们都拥有着很高的性价比和灵活的安装方式经过实践验证的轴承系统提 供了更优化的可靠性成熟精湛的转子设计使其具有绝对出色的抽气速度更好的前级泵兼容性和更大的气流量对小分子气体具有更高的压缩比。
HiPace® 10-800:抽速等级在10-800升/秒的紧凑型球轴承或复合轴承涡轮分子泵 稳健性工业设计(Robust Design)最小的空间安装需求高可靠性HiPace® 1200-2300:抽速等级在1000・2000升/秒的紧凑型复合轴承涡轮分子泵 高抽速更大的气流量更快的启动时间HiPace® 300-800 M, ATH 500 M:抽速等级在300.800升/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵 更大的气流量 更低的运行震动 更低的能耗ATH 1600-3200 M:抽速等级在1400-2800^/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵 更好的前级泵兼容性极高的气流量
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