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涡轮分子泵

涡轮分子泵家族拥有从抽速10・2700升/秒的全系列产品。
它们都拥有着很高的性价比和灵活的安装方式
经过实践验证的轴承系统提 供了更优化的可靠性
成熟精湛的转子设计使其具有绝对出色的抽气速度
更好的前级泵兼容性和更大的气流量
对小分子气体具有更高的压缩比。

产品介绍
  • 产品概述
  • 产品特点
  • 性能参数
  • 应用领域

HiPace® 10-800:
抽速等级在10-800升/秒的紧凑型球轴承或复合轴承涡轮分子泵 稳健性工业设计(Robust Design)
最小的空间安装需求
高可靠性
HiPace® 1200-2300:
抽速等级在1000・2000升/秒的紧凑型复合轴承涡轮分子泵 高抽速
更大的气流量
更快的启动时间
HiPace® 300-800 M, ATH 500 M:
抽速等级在300.800升/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵 更大的气流量 更低的运行震动 更低的能耗
ATH 1600-3200 M:
抽速等级在1400-2800^/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵 更好的前级泵兼容性
极高的气流量  

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